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含 C 源 AlN 陶瓷基片燒結工藝研究
發(fā)布日期:2018-07-24 作者:薄睿恬,姜宏偉,黃海亮,付斯年,鄭友進 瀏覽次數(shù):
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關鍵詞:
AlN
陶瓷基片;常壓燒結;晶相控制;石墨加熱體
右擊目標另存為: 含C源AlN陶瓷基片燒結工藝研究_薄睿恬.pdf
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