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含 C 源 AlN 陶瓷基片燒結(jié)工藝研究
發(fā)布日期:2018-07-24 作者:薄睿恬,姜宏偉,黃海亮,付斯年,鄭友進(jìn) 瀏覽次數(shù):
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AlN
陶瓷基片;常壓燒結(jié);晶相控制;石墨加熱體
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